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半導(dǎo)體塑封、粘片與焊接缺陷檢測(cè)用超聲掃描顯微鏡2020-11-23

超聲掃描顯微鏡(以下簡(jiǎn)稱“C-SAM設(shè)備”)是半導(dǎo)體封裝制造行業(yè)常用的質(zhì)量檢測(cè)與失效分析儀器,對(duì)于檢測(cè)封裝制造過程中的多種常見缺陷具有獨(dú)特的效果。

我們整理出了一些典型的缺陷形式和超聲檢測(cè)圖像,供大家參考。以下所有超聲檢測(cè)圖像均來(lái)自于上海思為儀器制造有限公司(以下簡(jiǎn)稱"思為儀器”)的超聲掃描顯微鏡。 

 
 

一、塑封分層、空洞缺陷的超聲檢測(cè)

塑料封裝與引線框架分層(脫粘)是封裝制造過程中常見的缺陷類型。該缺陷的存在,造成塑封無(wú)法保護(hù)芯片工作,水汽容易侵入,嚴(yán)重影響器件的壽命和可靠性。只有使用超聲檢測(cè)方法,才能檢查該缺陷是否存在。

圖1  TO-252封裝的塑封分層超聲掃描圖像

圖2 TO-220 注塑工藝異常造成的分層缺陷

圖3 塑封料內(nèi)部的空洞缺陷

二、半導(dǎo)體裝片/粘片缺陷的超聲檢測(cè)

裝裝片/粘片工序是封裝制造過程的關(guān)鍵工序,裝片/粘片過程中存在的空洞會(huì)造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測(cè)方法,可以快速地識(shí)別裝片/粘片空洞缺陷。

圖4  分立器件芯片粘片空洞超聲掃描圖像

圖5  IGBT模組斷層掃描圖像

三、半導(dǎo)體焊接缺陷的超聲檢測(cè)

焊接過程會(huì)產(chǎn)生氣泡和空洞,會(huì)造成器件在使用過程中散熱能力不足,影響使用壽命和可靠性。使用超聲檢測(cè)方法,可以快速地識(shí)別焊接空洞缺陷。

圖6 分立器件熱沉焊接空洞超聲掃描圖像

圖7 晶閘管焊接缺陷超聲掃描圖像

綜上,造成上述缺陷的原因包括模具損壞、材料失配、設(shè)備異常等。因此,在各工藝環(huán)節(jié)中的合適位置加入超聲檢測(cè)環(huán)節(jié),將有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量與可靠性。

四、思為儀器的 C-SAM設(shè)備

目前,行業(yè)內(nèi)使用的超聲掃描顯微鏡,基本上被美、日、德品牌壟斷。思為儀器團(tuán)隊(duì)從2012年開始模仿國(guó)際先進(jìn)的超聲掃描顯微鏡設(shè)備。在消化吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上,進(jìn)行相關(guān)原理創(chuàng)新,建立了各模塊子系統(tǒng)供應(yīng)鏈。根據(jù)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的特點(diǎn),逐步建立從低頻到高頻、從低速到高速、從微型到大型的健全產(chǎn)品系列。

 

近日,思為儀器團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出“YTS500超聲掃描顯微鏡”產(chǎn)品,具有掃描速度快、體積小、重量輕、操作便捷等特點(diǎn),整機(jī)僅為進(jìn)口產(chǎn)品的三分之一左右。該產(chǎn)品更加適合集成電路、分立器件產(chǎn)線需求,將超聲掃描顯微鏡從分析科學(xué)領(lǐng)域進(jìn)一步推廣至制程管控檢測(cè)領(lǐng)域。

 

“舊時(shí)王謝堂前燕,飛入尋常百姓家”,思為儀器將持續(xù)致力于超聲掃描顯微鏡的普及化和國(guó)產(chǎn)化。


YTS500 一體式超聲掃描顯微鏡

ZMS400 桌面式超聲掃描顯微鏡

GSS300 高速型超聲掃描顯微鏡

 DXS200 大尺寸超聲掃描顯微鏡

YTS100 一體式超聲掃描顯微鏡

★思為儀器C-SAM設(shè)備的應(yīng)用場(chǎng)景 ★

01

用于裝片的每批的首件檢驗(yàn)焊料空洞率

02

用于每隔一小時(shí)檢測(cè)裝片空洞率,確保工藝穩(wěn)定

03

用于檢測(cè)塑封的每批首件檢驗(yàn)分層和空洞

04

用于塑封每隔一小時(shí)檢測(cè)分層和空洞,確保工藝穩(wěn)定

05

采購(gòu)的每批塑封料要檢測(cè)分層和空洞

06

用于顧客投訴時(shí)失效分析

07

用于合格率低時(shí),進(jìn)行分析

客戶裝機(jī)現(xiàn)場(chǎng)

聯(lián)絡(luò)方式

聯(lián)系人:吳小姐

聯(lián)系電話:1560667577  0577-57180373

地址:浙江省樂清市柳市鎮(zhèn)象陽(yáng)工業(yè)區(qū)正順西路2號(hào)A棟4樓

思為儀器|超聲無(wú)損檢測(cè)專家

 
 

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